高纯氩气杂质分析检测方案_ERUN-PG51AR在线式氩气纯度分析仪

1. 执行标准：GB/T 4842-2017《氩》、GB/T 28726、SEMI电子级标准

1. 检测纯度：5N(99.999%)、6N(99.9999%)

1. 典型控制指标：

• 氧O₂ ≤1ppm

• 氮N₂ ≤1ppm

• 氢H₂ ≤0.1ppm

• 一氧化碳CO ≤0.1ppm

• 二氧化碳CO₂ ≤0.1ppm

• 总烃THC ≤0.1ppm

• 水分H₂O ≤0.5ppm

1. 气相色谱法（GC-PDHID/TCD）

2. 热导法（TCD）

3. 微量氧/微量水分析仪

4. 固定在线式系统

1. 取样：使用不锈钢抛光管路、专用减压器，防止污染

2. 预处理：吹扫、稳压、除湿、除油

3. 进样分析：离线色谱/在线设备连续检测

4. 数据记录：实时浓度、曲线、报警记录

5. 报告输出：纯度、杂质含量、合格判定

五、在线监测推荐：ERUN-PG51AR固定在线式氩气检测分析仪

1. 采用进口高精度TCD热导传感器，稳定性强、寿命长

1. 测量范围：0~100%Vol，支持高纯氩气精准分析

1. 支持管道式/壁挂式/流通式安装，适配现场工况

1. 4-20mA+RS485标准输出，可接入DCS/PLC/上位机

1. 两级声光报警，超标自动提醒，保障生产安全

1. 红外遥控校准，不开盖操作，更安全便捷

1. 防爆结构设计，适用于工业危险场所

1. 空分设备氩气精馏单元在线监测

1. 气体充装厂高纯氩气出厂质控

1. 半导体/光伏车间氩气管道实时监测

1. 激光焊、不锈钢焊氩气纯度保障

1. 实验室/科研院所高纯气在线分析

六、方案价值

1. 精准把控高纯氩气杂质含量，提升产品良率

2. 实现24小时在线监测，减少人工巡检成本

3. 超标提前预警，避免工艺事故与原料浪费

4. 数据可追溯，满足审核、验厂、客户要求

七、总结