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三氟化氮检测仪

三氟化氮检测报警仪从类型上可以分为固定在线式三氟化氮泄漏检测仪和便携手持式氟化氮NF3浓度报警器两大类,主要用于使用三氟化氮作为电子工业特种气体生产储运场所中检测氟化氮的浓度值,并超标进行声光振动报警,以提醒作业人员注意,并可选配精密气体采样泵、温湿度检测、无线传输等附件或功能。
固定在线式三氟化氮检测报警仪
ERUN-PG51NF3固定在线式三氟化氮检测报警仪适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等使用三氟化氮NF3作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂的工况场所,固定式三氟化氮泄
便携泵吸式三氟化氮检测报警仪
ERUN-PG71S4-NF3便携泵吸式三氟化氮检测报警仪适用于平板显示器、光伏电池、半导体芯片、光纤等使用三氟化氮NF3作为反应腔清洗剂和等离子蚀刻气体的工况场所,便携式三氟化氮
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