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固定在线式三氟化氮检测报警仪

产品描述:

ERUN-PG51NF3固定在线式三氟化氮检测报警仪适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等使用三氟化氮NF3作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂的工况场所,固定式三氟化氮泄漏检测仪可以连续实时在线监测空气中三氟化氮的浓度值及泄漏状况。在线式氟化氮NF3浓度报警探测器能够在监测到三氟化氮浓度达到或超过仪器预设的报警浓度值时时就会发出声光报警,信号远程传输至值班室监控主机上同步显示氟化氮的浓度值和报警状态,并自动联锁控制排气风机进行通风换气。

产品型号: ERUN-PG51NF3
产品认证:
固定在线式三氟化氮检测报警仪认证证书
可检测气体:
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  • 产品介绍
  • 产品参数
  • 功能特点
  • 产品配置
  • 服务保障
检测气体 三氟化氮NF3
量程分辨率 NF3:0-50ppm、0.01ppm、进口高精度电化学原理传感器

NF3:0-1000ppm、0.1ppm、进口高精度电化学原理传感器

其他量程、原理、分辨率可订制
检测精度 ≤±3%F.S(更高精度可订制)
重 复 性 ≤±2%
线 性 度 ≤±2%
不确定度 ≤±2%
响应时间 T90≤20秒
恢复时间 ≤30秒
信号输出 总线制RS485(Modbus-RTU),分线制4~20mA,
选配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、无线传输、网络传输、短信报警。
工作方式 固定式安装,在线检测,扩散式测量;可选管道式、流通式、泵吸式测量。
显示方式 现场1.7寸高清彩屏显示,可选现场无显示,或选配ERUN-PG32E控制器远程显示、控制、报警
报警方式 默认1路,可选2路无源触点(干节点)输出,三级报警,报警点可设置
现场声光报警
安装方式 管道式、壁挂式。管道式的工作压力为大气压±30%,超出范围需降压处理。
工作电压 12~30VDC直流,单台设备的标准电源为24V,1A或大于1A 的直流稳压开关电源
工作环境 温度:-40℃~+70℃,湿度:≤10~95%RH (常规)非凝露场合
在凝露场合使用须订制或订货时注明使用环境
电气接口 3/4NPT,可选M20*1.5内螺纹、1/2NPT
连接电缆 4~20mA选三芯屏蔽电缆,RS485选四芯,距离超1000米时单根线径≥1.5mm;屏蔽层接大地。
防护等级 IP65级防水防尘
防爆类型 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
外型尺寸 210×170×85mm(L×H×W)
重    量 1600g
信誉单位

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陕西省AAA级信誉单位

国内顶尖服务商

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6年来被评为国内顶尖服务商

技术人员

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公司拥有150多名高级技术人员

合作客户

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累计合作客户2000+

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