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砷化氢检测仪

砷化氢检测仪主要是用来检测环境空气中泄漏积聚的砷化氢AsH3气体的浓度值,从类型可以分为便携手持式砷化氢浓度检测仪和固定在线式砷烷泄漏报警器两大类,超标声光振动报警,并可通过有线或无线方式传输数据,根据现场工况环境选配除水除尘降温降压等预处理装置。
固定在线式砷化氢检测报警仪
ERUN-PG51SAX3固定在线式砷化氢检测报警仪适用于硅中N型扩散、生长砷化镓GaAs、外延硅的N型掺杂、离子注入、磷砷化镓GaAsP等半导体及有机砷化物合成过程中砷化氢AsH3浓度的
便携泵吸式砷化氢检测报警仪
ERUN-PG71S6-AX3便携泵吸式砷化氢检测报警仪适用于生长砷化镓GaAs、离子注入、磷砷化镓GaAsP、硅中N型扩散、外延硅的N型掺杂等半导体及有机砷化物合成过程中砷化氢AsH3浓度
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